Forno di ossidazione

a camerain atmosfera controllataper l'industria elettronica

Forni I nostri forni sono completamente automatizzati con comodi strumenti e design per entrambi i processi con diverse zone di riscaldamento controllabili completamente secondo le capacità e le esigenze del cliente. Le nostre attrezzature sono per questi tipi di wafer con i diametri di 100, 150, 200, 300 mm. FORNI ATMOSFERICI Vegatec progetta e produce forni atmosferici con tutti i suoi sistemi di automazione per il laboratorio e l'industria della microelettronica, della nanoelettronica e del fotovoltaico. Questi forni sono i seguenti; Forni di ossidazione (ossidazione a umido e a secco) Forni a diffusione Forni dopanti Forni di ricottura Caratteristiche generali dei forni atmosferici Facile da usare e di facile manutenzione grazie al design di facile utilizzo Camera del forno e portacampioni a sbalzo in quarzo ad alta purezza In grado di lavorare in camere bianche fino alla classe 10 Lunga durata grazie a componenti di alta qualità Zone di riscaldamento controllabili separatamente Facile utilizzo dell'interfaccia di automazione Tubi per forni impilabili per la progettazione compatta di diversi processi allo stesso tempo Possibilità di caricamento manuale o automatico Capacità secondo ogni cliente In laboratorio o su scala industriale