Sonda di ossigeno

per dispositivi elettronicidi misuraa membrana

Informazioni generali
La sonda per vuoto ZIROX utilizza una cella a elettrolita solido in zirconia (ZrO2) in configurazione potentiometrica come elemento sensibile. Si genera una tensione tra elettrodo di misura e elettrodo di riferimento, proporzionale al logaritmo del rapporto delle pressioni parziali di ossigeno, convertibile in pressione parziale d'ossigeno tramite l'equazione di Nernst. La testa di collegamento integra il controllo del riscaldatore, l'elettronica di trattamento del segnale e una pompa a membrana interna per il gas di riferimento.

Applicazioni
La sonda è destinata alla determinazione delle pressioni parziali di ossigeno in impianti a bassa pressione. Usi tipici: processi sotto vuoto come PVD, sputtering magnetron e altri processi al plasma o di trattamento superficiale, nonché studi di ricerca sui materiali.

Nota sulla calibrazione
A differenza delle sonde ZIROX per pressione atmosferica, la sonda per vuoto non è esente da calibrazione a causa della posizione interna del riscaldatore e delle condizioni termiche dipendenti dalla pressione sull'elettrodo di misura (non è possibile garantire elettrodi isotermi). Per il controllo del processo una calibrazione empirica è spesso sufficiente; per misure accurate l'utilizzatore deve effettuare calibrazioni di prova.

Dati tecnici — Sonda per vuoto

• Lunghezza di inserzione: 140...300 mm
• Diametro: 6 mm (16 mm con tubo di protezione)
• Massa: 1,5 kg
• Dimensioni testa di collegamento: 150 x 63 x 35 mm
• Grado di protezione: IP54
• Flangia: KF40 (altre su richiesta)
• Temperatura massima alla flangia: 60 °C
• Alimentazione: 24 V DC ± 10 %
• Assorbimento: 1,2 A
• Potenza riscaldamento: 30 W
• Intervallo di pressione: 1,5 x 10^5 ... 1 x 10^-5 Pa
• Intervallo tensione sensore: 0...400 mV o 0...1200 mV (commutabile su PCB)
• Intervallo pressione parziale ossigeno: 1 x 10^5 ... 1 x 10^-21 Pa
• Segnale di uscita: 0–20 mA
• Accuratezza: < 5 % errore relativo (uso di processo)
• Temperatura di lavoro sensore: 700 °C (controllata elettronicamente)
• Offset (con manicotto di protezione): -15...-20 mV
• Perdita He: < 10^-8 mbar·L/s
• Velocità massima flusso gas: 10 m/s
• Gas di riferimento: aria ambiente
• Portata gas di riferimento (pompa interna): circa 5...10 L/h

Assegnazione connettore
Tipo connettore: Tipo 423, 6 poli, Binder (Cod. ordine: 99-5622-15-06)

• 1: +24 V
• 2: GND
• 3: + Iout (20 mA corrispondono a 400 o 1200 mV secondo impostazione)
• 4: - Iout
• 5: Contatto Ready (libero da potenziale) — 60 V/1 A DC o 125 V/1 A AC
• 6: (nessuna assegnazione)