Evaporatore a fasci ionici Triple EFM

di processo

Le aree d'evaporazione una distanza di funzionamento di 8.5, 11 e 15 millimetri 93 millimetri (10 millimetri) 3 cellule/filamenti indipendenti fondono i video nessuna diafonia durante il Posteriore-caricamento compound di sviluppo dei evaporants che un prodotto del FUOCO ha basato sul concetto di progetto degli evaporatori di EFM 3, il EFM triplice caratterizzano tre cellule indipendenti per l'evaporazione di una vasta gamma dei materiali dai legare, dai coni retinici o dai crogioli. Ogni cellula è dotata di un filamento separato e del rifornimento di alta tensione per impedire la diafonia (300 W ciascuno). Tre video indipendenti di cambiamento continuo permettono lo sviluppo stechiometrico controllato dei residui. L'otturatore integrale di multi-posizione permette il dosaggio preciso e l'evaporazione simultanea o successiva (?apra? le posizioni: 1, 2, 3, 1+3, 2+3, 1+2+3). La zona di deposito è governata dalla scelta di una di tre aperture. I tre obiettivi di evaporazione sono montati indipendentemente su tre 25 millimetri Z-sposta per l'allineamento riguardo al filamento. Questa caratteristica permette l'evaporazione dai coni retinici con uno strumento della multi-tasca. I materiali dell'obiettivo possono essere riempiti facilmente dalla parte posteriore (CF di 3x nanowatt 16).