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sistema di ispezione per rilevamento di difetti
... di metallo - Risoluzione ad alta precisione Risoluzione del sistema: 0.2-0,8 μ m - Rapida velocità di rilevamento Wafer sagomato: 15 minuti / wafer quando il numero di difetti ...
... lineare
Asse Z: vite a sfere +
guida lineare + servomotore AC con controller di movimento OPPURE
guida lineare + motore lineare con controller di movimento
Risoluzione assi X-Y: 0,1 µm
Funzioni di ispezione ...
TRI Test Research Europe GmbH
... Sistemi di ispezione ad alta produttività per wafer sagomati ad ampio spettro I sistemi di ispezione per wafer sagomati della Serie 8 rilevano un'ampia ...
KLA Corporation
... Descrizione
- Ispezione ottica automatizzata (AOI) per substrati IC con risoluzione minima linea/spazio fino a 4 µm.
- Galaxy 4Cχ è l'ultima generazione di sistemi AOI di CIMS, dotata di fotocamera
CIMS
... dosaggio. I produttori necessitano di
ispezioni affidabili per verificare le matrici di micro‑fori, la geometria dei fori, il bordo, la finitura superficiale e la contaminazione interna.
Sfide di ispezione: ...
... informazioni fornite dal
sistema di
ispezione
wafer.
Utilizzo
Gestione dei difetti nel processo di produzione di dispositivi a semiconduttore / dispositivi CMOS.
Descrizione ...
... Grazie alla sua esclusiva tecnologia di progettazione ottica, il sistema Imperia rileva e classifica i difetti che uccidono la resa, con l'ulteriore vantaggio di un monitoraggio simultaneo della produzione in fotoluminescenza (PL) all'avanguardia Panoramica ...
Onto Innovation Inc.
... Il sistema GWI è stato costruito per rilevare difetti nei wafer di vetro nelle prime fasi del ciclo produttivo. Il sistema è basato su una smart camera ad alta risoluzione per soddisfare la precisione ...
... dei sistemi di selezione dei wafer nel mercato nazionale Grazie alle eccellenti prestazioni di ispezione e all’affidabile automazione, il sistema di ispezione si è guadagnato ...
... Lo strumento di ispezione ottica FRT MicroProf DI consente di ispezionare wafer strutturati e non strutturati durante l'intero processo di produzione. Combinando l' ispezione e la metrologia 2D, MicroProf ...
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