Macchine di ispezione per wafer KLA

... I sistemi di ispezione dei difetti al plasma a banda larga 3935 e 3920 EP supportano la scoperta dei difetti a livello di wafer, l'apprendimento della resa e il monitoraggio in linea per i nodi di progettazione della ...

... difetti su frontside, backside e bordi per diverse dimensioni di wafer e tipi di substrato.

Serie di prodotto e riepilogo

• Serie 39xx: Ispezione di wafer patternati a super-risoluzione

... rilevare i difetti critici su una gamma di strati di processo e tipi di dispositivi. La tecnologia NanoPoint™ concentra l' ispezione sulle aree di pattern ad alto rischio di guasti di affidabilità, fornendo dati sui difetti che aiutano ...

... logici avanzati a 1Xnm e di memorie DRAM e NAND 3D. Parte di un portafoglio di strumenti avanzati per l' ispezione e la revisione dei difetti dei wafer, Puma 9980 fornisce la soluzione con il più alto throughput per il ...

... superfici dei wafer e forniscono una raccolta dati parallela ad alta produttività per un controllo efficiente del processo. I moduli che compongono il sistema CIRCL5 di ultima generazione comprendono: ispezione dei difetti ...

... i sistemi Surfscan compatibili, contribuendo a semplificare la gestione del parco macchine all'interno delle fabbriche. Sistema di ispezione della superficie dei wafer non mascherati con sensibilità ...

... sistemi di revisione e classificazione dei difetti dei wafer e-Beam Il sistema di revisione e classificazione dei difetti dei wafer eDR7380™ a fascio di elettroni (e-beam) supporta la produzione di wafer ...

... Il sistema di metrologia della sovrapposizione Archer™ 800 fornisce un feedback accurato dell'errore di sovrapposizione sul prodotto per velocizzare le rampe tecnologiche e stabilizzare la produzione di dispositivi logici e di memoria all'avanguardia. ...