Macchina di ispezione ottica Puma™ series

per wafer incisoper l'industria elettronicadi difetti

Sistemi di ispezione dei difetti dei wafer con scansione laser Il sistema di ispezione a scansione laser Puma™ 9980 incorpora molteplici miglioramenti in termini di sensibilità e velocità che consentono l'acquisizione di difetti critici di interesse (DOI) alle velocità richieste per la produzione di alti volumi di dispositivi logici avanzati a 1Xnm e di memorie DRAM e NAND 3D. Parte di un portafoglio di strumenti avanzati per l'ispezione e la revisione dei difetti dei wafer, Puma 9980 fornisce la soluzione con il più alto throughput per il monitoraggio della rampa di produzione, migliorando l'acquisizione dei tipi di difetti sugli strati di patterning avanzati. Puma 9980 incorpora la funzionalità NanoPoint™ design-aware, che produce risultati di ispezione più efficaci grazie a una maggiore sensibilità ai difetti, a un migliore binning sistematico dei difetti e a una maggiore precisione delle coordinate dei difetti. Monitor di linea, Monitor utensile, Qualificazione utensile