Macchina di ispezione ottica C205

per wafer incisoper l'industria elettronicadi difetti

Il sistema di ispezione dei difetti ottici al plasma a banda larga C205 consente la scoperta di difetti sistematici e il rilevamento di difetti latenti di affidabilità per la produzione di chip per i mercati automobilistico, IoT, 5G ed elettronica di consumo. Il C205 sfrutta una sorgente di illuminazione a banda larga sintonizzabile, un'ottica avanzata e un sensore a basso rumore per rilevare i difetti sistematici, contribuendo ad accelerare la caratterizzazione e l'ottimizzazione di nuovi processi, nodi di progettazione e dispositivi durante la fase di ricerca e sviluppo. La tecnologia NanoPoint™ concentra l'ispezione sulle aree di pattern ad alto rischio di guasti per l'affidabilità, fornendo dati sui difetti che aiutano a ridurre l'overkill dello stampo. In produzione, il C205 monitora gli strati critici che richiedono un'elevata sensibilità, aiutando gli stabilimenti a evitare le escursioni dei difetti che influiscono sulla qualità finale dei chip. Il C205 è una piattaforma estensibile e configurabile che supporta wafer da 200 e 300 mm. Individuazione di difetti, individuazione di punti caldi, debug del processo, analisi ingegneristica, monitoraggio delle linee, individuazione di finestre di processo