Macchina di ispezione ottica C30x

per wafer incisoper l'industria elettronicadi difetti

Gli ispettori ottici al plasma a banda larga della serie C30x consentono la scoperta sistematica dei difetti e il rilevamento dei difetti di affidabilità latente nella produzione di chip per i mercati automobilistico, IoT, 5G, elettronica di consumo e industriale (militare, aerospaziale, medico). Gli ispettori C30x sfruttano una sorgente di illuminazione a banda larga sintonizzabile, un'ottica avanzata e un sensore a basso rumore per rilevare i difetti critici su una gamma di strati di processo e tipi di dispositivi. La tecnologia NanoPoint™ concentra l'ispezione sulle aree di pattern ad alto rischio di guasti di affidabilità, fornendo dati sui difetti che aiutano a ridurre l'insufficienza e la sovraccarica degli stampi. Grazie alla scoperta di difetti sistematici, gli ispettori C30x contribuiscono ad accelerare la caratterizzazione e l'ottimizzazione di nuovi processi, nodi di progettazione e dispositivi durante la ricerca e sviluppo. In produzione, l'elevata sensibilità dei sistemi C30x alla velocità di ispezione ottica consente di monitorare in linea gli strati critici del processo, aiutando gli stabilimenti a evitare le escursioni dei difetti che influiscono sulla qualità finale dei chip. Gli ispettori C30x sono costruiti su una piattaforma estensibile e configurabile, in grado di supportare wafer da 200 e 300 mm. Gli ispettori al plasma a banda larga C30x includono le seguenti tecnologie: Sorgente di illuminazione al plasma a banda larga Grazie a una sorgente luminosa DUV/UV/visibile ad alta luminosità, gli ispettori della serie C30x raggiungono un segnale maggiore per i difetti critici. Bande di lunghezza d'onda sintonizzabili Numerose bande di lunghezza d'onda offrono la flessibilità operativa necessaria per ottenere un contrasto ottimale per diversi strati di processo e tipi di dispositivi. Pixel multipli Il C30x include pixel di piccole dimensioni, che consentono di rilevare i difetti più piccoli e critici che influiscono sulla resa e sull'affidabilità dei dispositivi. Sensore ad alta velocità di trasmissione dei dati