Macchina di deposizione per polverizzazione catodica a magnetron OPT-S 800

verticale in lineaper automobile

Panoramica
OPT-S 800 è un sistema di deposizione per sputtering magnetron per rivestimenti ottici, con area di rivestimento effettiva Φ650 × H450 mm e camera Φ1150 × H980 mm. Il sistema integra incisione tramite sorgente ionica e quattro sorgenti di sputtering, disponibili in configurazione planare o cilindrica. La serie OPT-S è progettata per rivestimenti multicapa uniformi su lenti ottiche, pannelli automobilistici, display, moduli LiDAR e HUD.

Applicazioni

• Lenti ottiche
• Pannelli automobilistici (esterni/interni)
• Display e pannelli touch
• Ottiche per LiDAR e sensori
• Head-up display (HUD)

Tipi di film

• Filtri cut-off
• Filtri passa-banda e filtri RGB
• AR (antiriflesso)
• Hard AR
• IR-AR
• HR (alta riflettività)
• AS/AF (anti-macchia / anti-impronta)
• Rivestimenti ITO (conduttivi e trasparenti)

Vantaggi principali

• Quattro sorgenti di sputtering con opzioni planari o cilindriche per configurazioni di processo flessibili
• Monitoraggio ottico online per feedback spettrale in tempo reale e controllo del punto finale di deposizione dei multilayer
• Movimento planetario (rivoluzione e rotazione) del pezzo per garantire distribuzione uniforme dello spessore durante i depositi multicapa
• Il processo di sputtering produce film ottici densi e ben aderenti con basse perdite per assorbimento e scattering

Caratteristiche

• Area di rivestimento effettiva: Φ650 × H450 mm
• Dimensione della camera: Φ1150 × H980 mm
• Portapezzi: Φ135 × 10 assi (regolabile); portapezzi cilindrico planetario verticale
• Interfaccia touch-screen e controllo PLC
• Due pompe molecolari (componenti del sistema di vuoto)

Parametri del prodotto (tabella)
Modello: OPT-S 800
Tecnologia di rivestimento: Sputtering magnetron
Tecnologia di incisione: Incisione a sorgente ionica
Materiali dei substrati: Vetro, materiali cristallini, polimeri, ceramiche, metalli
Struttura dell'apparecchiatura: Sistema verticale integrato; porta laterale; 2 finestre di ispezione
Dimensione camera (Diametro × Altezza): Φ1150 × H980 mm
Area di rivestimento effettiva (Diametro × Altezza): Φ650 × H450 mm
Specifiche portapezzi: Φ135 × 10 assi; regolabile
Sorgenti di sputtering: 4; opzioni planari / cilindriche
Temperatura di lavoro: Ambiente fino a 300°C (regolabile)
Vuoto ultimo: 8 × 10⁻⁵ Pa (a vuoto, condizioni sala bianca)
Gas di processo: Argon, azoto, ossigeno, acetilene
Dimensioni apparecchiatura (L × W × H): L3.8 × W1.8 × H2.3 m

Specifiche tecniche

• Modello: OPT-S 800
• Metodo di rivestimento: Sputtering magnetron
• Metodo di incisione: Incisione a sorgente ionica
• Camera: Φ1150 × H980 mm
• Area di rivestimento effettiva: Φ650 × H450 mm
• Portapezzi: Φ135 × 10 assi, planetario verticale
• Sorgenti di sputtering: 4 (opzioni planari o cilindriche)
• Intervallo di temperatura: RT a 300°C
• Vuoto ultimo: 8 × 10⁻⁵ Pa (a vuoto, condizioni sala bianca)
• Gas di processo: Ar, N2, O2, C2H2
• Dimensioni: L3.8 × W1.8 × H2.3 m