Macchina di deposizione per polverizzazione catodica a magnetron OPT-S 1700

verticale in lineaper automobile

Panoramica del prodotto
OPT-S 1700 è un impianto per deposizione ottica a sputtering magnetron con area di deposizione utile Φ940 × H1200 mm e camera Φ1200 × H1900 mm. Utilizza incisione tramite sorgente ionica e 8 sorgenti di sputtering, con opzioni di sorgenti planari o cilindriche. La serie OPT-S copre lenti ottiche, pannelli automotive, schermi, LiDAR e head-up display. Tipologie di film: filtri cut-off, band-pass e RGB, AR, hard AR, IR-AR, HR, AS/AF e ITO.

Vantaggi principali

• 8 sorgenti di sputtering con opzione planare o cilindrica.
• Sistema di monitoraggio ottico online per controllo spettrale in tempo reale e terminazione del deposito.
• Movimento planetario verticale del pezzo (rivoluzione e rotazione) per garantire distribuzione uniforme dello spessore in rivestimenti multistrato.
• Il processo di sputtering produce film ottici densi e aderenti con basse perdite per assorbimento e diffusione.
• Controllo tramite touch-screen e PLC per funzionamento manuale / semiautomatico / totalmente automatico.

Caratteristiche

• Area di deposizione effettiva: Φ940 × H1200 mm.
• Dimensione camera: Φ1200 × H1900 mm.
• Portapezzi: Φ170 × 12 assi (specifica regolabile su richiesta).
• 6 pompe molecolari per il sistema di vuoto.
• Supporta più tipi di film (cut-off, band-pass, filtri RGB, AR, hard AR, IR-AR, HR, AS/AF, ITO).

Parametri del prodotto
Modello: OPT-S 1700
Tecnologia di deposizione: sputtering magnetron
Tecnologia di incisione: incisione a sorgente ionica
Materiali dei substrati: vetro, materiali cristallini, polimeri, ceramiche e metalli
Struttura dell'apparecchiatura: sistema verticale integrato; porta laterale; 2 finestre di ispezione
Movimento del portapezzi: sistema portapezzi cilindrico planetario verticale
Specifiche del portapezzi: Φ170 × 12 assi (regolabile)
Temperatura di lavoro: regolabile da ambiente a 300°C
Vuoto finale: 8 × 10⁻⁵ Pa (a vuoto, in condizioni di camera bianca)
Modalità di controllo: Manuale / semiautomatica / completamente automatica; touch screen + PLC
Gas di processo: argon, azoto, ossigeno e acetilene
Monitoraggio ottico: sistema di monitoraggio ottico online (OMS)
Pompe molecolari: 6
Dimensioni (L × W × H): L4.0 × W2.1 × H3.1 m

Specifiche tecniche

• Modello: OPT-S 1700
• Deposizione: sputtering magnetron — supporta filtri ottici multistrato e film AR/HR/ITO
• Incisione: incisione a sorgente ionica
• Area effettiva di deposizione: Φ940 × H1200 mm
• Camera: Φ1200 × H1900 mm
• Portapezzi: sistema cilindrico planetario verticale; Φ170 × 12 assi (configurabile)
• Prestazioni del vuoto: 8 × 10⁻⁵ Pa (a vuoto, camera bianca)
• Intervallo di temperatura: ambiente fino a 300°C
• Controllo: touch-screen + PLC; modalità manuale / semi-auto / full-auto
• Monitoraggio: monitoraggio ottico online per controllo spettrale e punto finale di deposito
• Pompe: 6 pompe molecolari
• Dimensioni complessive: L4.0 × W2.1 × H3.1 m