Macchina di deposizione per polverizzazione catodica verticale in linea OPT-S 1800

a magnetronper automobile

Panoramica del prodotto
OPT-S 1800 è una macchina per rivestimenti ottici tramite sputtering magnetron con un'area di coating efficace di Ø940 × H1600 mm e una camera di Ø1200 × H2180 mm. Utilizza incisione tramite sorgente ionica e dispone di 8 sorgenti di sputtering; sono disponibili configurazioni piane o cilindriche. Il sistema supporta portapezzi cilindrici planetari verticali ed è adatto alla deposizione di film ottici multilayer.

Applicazioni

• Lenti ottiche
• Panelli automobilistici
• Schermi display
• LiDAR
• Head-up display (HUD)

Tipi di film elencati

• Filtri di taglio
• Filtri passa-banda
• Filtri RGB
• AR (anti-riflesso)
• AR duro
• IR-AR
• HR (alta riflettanza)
• AS/AF (anti-macchia / anti-impronta)
• Rivestimenti ITO

Vantaggi principali

• 8 sorgenti di sputtering (opzioni piane o cilindriche) per configurazioni di deposizione flessibili
• Sistema di monitoraggio ottico online (monitoraggio spettrale in tempo reale e controllo del punto finale di deposizione) per film multilayer
• Movimento planetario verticale del portapezzi (rivoluzione e rotazione) per supportare una distribuzione uniforme dello spessore
• Film ottici densi e aderenti con bassa assorbimento e scattering grazie al processo di sputtering
• Controllo touch-screen e PLC con modalità manuale / semiautomatica / completamente automatica
• Equipaggiato con 8 pompe molecolari per prestazioni e stabilità del vuoto

Parametri prodotto (rappresentazione)
Modello: OPT-S 1800
Tecnologia di rivestimento: Sputtering magnetron
Tecnologia di incisione: Incisione a sorgente ionica
Materiali del substrato: Vetro, materiali cristallini, polimeri, ceramiche e metalli
Struttura dell'apparecchiatura: Sistema verticale integrato; porta laterale; 2 finestre di ispezione
Movimento del portapezzi: Sistema di portapezzi cilindrico planetario verticale
Temperatura di lavoro: Regolabile da temperatura ambiente a 300°C
Vuoto finale: 8 × 10⁻⁵ Pa (a vuoto, condizioni di clean-room)
Modalità di controllo: Manuale / semiautomatica / completamente automatica; touch screen + PLC
Gas di processo: Argon, azoto, ossigeno e acetilene
Monitoraggio ottico: Sistema di monitoraggio ottico online (OMS)
Alimentazioni di polarizzazione: 1
Dimensioni dell'apparecchiatura (L × W × H): L4.0 × W2.1 × H3.3 m

Specifiche tecniche

• Area di coating efficace: Ø940 × H1600 mm
• Dimensione della camera: Ø1200 × H2180 mm
• Sorgenti di sputtering: 8 (opzioni piane o cilindriche)
• Specifiche del portapezzi: Ø170 × 12 assi (regolabile secondo requisiti)
• Vuoto finale: 8 × 10⁻⁵ Pa (a vuoto, condizioni di clean-room)
• Intervallo di temperatura di lavoro: temperatura ambiente fino a 300°C
• Gas di processo supportati: Argon, Azoto, Ossigeno, Acetilene
• Controllo: Touch-screen + PLC; manuale / semiautomatico / completamente automatico
• Monitoraggio ottico: OMS online per monitoraggio spettrale in tempo reale e controllo del punto finale
• Ingombro attrezzatura: L4.0 × W2.1 × H3.3 m
• Struttura: Sistema verticale integrato con porta laterale e 2 finestre di ispezione
• Applicazioni tipiche: lenti ottiche, pannelli automobilistici, schermi display, LiDAR, HUD