Sistema di litografia laser JBX-9500FS

JBX-9500FS è un sistema EB da 100 kV che offre una produttività e una precisione posizionale di livello mondiale tra i sistemi di litografia a fascio spot. Questo sistema EB può ospitare wafer fino a 300 mmΦ e maschere fino a 6 pollici, rispondendo così alle esigenze di ricerca e sviluppo e di produzione in vari settori, quali nanoimprint, dispositivi fotonici e dispositivi di comunicazione. Caratteristiche Oltre alla velocità massima di scansione di 100 MHz, JBX-9500FS raggiunge un'accuratezza di sovrapposizione di ±11 nm, un'accuratezza di cucitura del campo di ±10 nm e un'accuratezza posizionale all'interno del campo di ±9 nm quando la dimensione del campo è di 1000 µm×1000 µm. JBX-9500FS è quindi un sistema EB a 100 kV che offre un throughput e un'accuratezza posizionale di livello mondiale tra i sistemi di litografia a fascio spot. Poiché JBX-9500FS impiega un DAC di posizionamento del fascio di 20 bit e un DAC di scansione di 14 bit, si ottiene un passo di scansione a risoluzione più elevata di 0,25 nm per un incremento di dati di scrittura di 1 nm, riproducendo così dati di scrittura più precisi. L'elevata velocità di scansione, fino a 100 MHz, consente a JBX-9500FS di mantenere passi di scansione brevi in caso di scrittura a corrente elevata, migliorando così la produttività anche quando è richiesta una scrittura di modelli ad alta precisione. L'accuratezza posizionale di prim'ordine è ottenuta grazie al sistema LBC (controllo del fascio laser) che fornisce un passo di posizionamento del fascio minimo ad alta risoluzione di 0,15 nm (λ/4096). Inoltre, un'esclusiva funzione di autocalibrazione (funzione di correzione automatica) sviluppata da JEOL consente di ottenere una scrittura del modello altamente affidabile e stabile per un lungo periodo di tempo. La tempistica della correzione automatica può essere impostata per ogni campo o per ogni modello. Questa funzione è molto efficace per un lungo periodo di scrittura senza operatore, ad esempio durante i fine settimana o le vacanze consecutive.