Forno di ricottura CCBS-IR

di cotturaa cameraa infrarossi

La serie CCBS-IR è costituita da forni di pulizia a trasferimento di un singolo substrato che utilizzano un sistema di riscaldamento a infrarossi. Sono in grado di eseguire una varietà di trattamenti termici per cristalli liquidi (LCD) e EL organici (OLED) di grandi dimensioni, fino alla decima generazione. È disponibile anche un modello dimostrativo che tratta IGZO e LTPS (polisilicio a bassa temperatura) a 500°C. Caratteristiche Fattore di pulizia di alto livello Alta efficienza di riscaldamento Eccellente uniformità di temperatura Capacità di controllo dell'atmosfera Fattore di pulizia di alto livello La struttura pulita che non genera polvere, combinata con il controllo di precisione dell'atmosfera del forno (brevetto acquisito), offre un alto livello di prestazioni pulite. Questi forni sono anche in grado di processare substrati array che richiedono un ambiente rigorosamente pulito. Alta efficienza di riscaldamento Viene utilizzato un sistema di riscaldamento a infrarossi lontani (IR) con un'efficienza di riscaldamento superiore, in grado di processare ad alta efficienza tutti gli spessori di film. È ideale per la lavorazione di film spessi come gli strati di allineamento e i film di passivazione. Eccellente uniformità di temperatura I riscaldatori a pannello IR adottati offrono un'eccellente uniformità di temperatura. Sono in grado di riscaldare in modo uniforme anche substrati di grandi dimensioni come quelli di decima generazione. Capacità di controllo dell'atmosfera È possibile iniettare azoto nel forno per eseguire il trattamento termico a basse concentrazioni di ossigeno.