Piastra di posizionamento verticale GTS series

con motore linearemonoassialea rulli incrociati

Gli stadi della serie GTS-V raggiungono la più lunga gamma di corse, la più alta velocità e la migliore precisione e ripetibilità rispetto alle altre piattaforme verticali. Il suo basso profilo e le capacità di movimento ad alta precisione rendono questa piattaforma una scelta eccellente per applicazioni come l'ispezione di wafer di semiconduttori, la nanotecnologia, l'allineamento automatico dei dispositivi, la metrologia e i processi di controllo della qualità. -30 o 70 mm di corsa verticale di precisione in un'unità compatta -Accesso senza ostacoli al carico utile da qualsiasi direzione -Movimento senza scosse ed eccezionale precisione di traiettoria con cuscinetti a rulli incrociati verticali anti-creep -Alta sensibilità, eccellente ripetibilità e movimento ad alta precisione grazie a una codifica lineare integrata Guida verticale diretta Il movimento verticale di alta precisione è ottenuto utilizzando un sistema di guida verticale diretta composto da coppie abbinate di cuscinetti a rulli incrociati anti-creep per il GTS30V e cuscinetti a ricircolo di sfere per il GTS70V. Queste guide lineari sono state scelte per fornire la traiettoria più diritta, un movimento fluido e preciso e un funzionamento robusto e a lungo termine. Inoltre, i cuscinetti a rulli incrociati nel GTS30V hanno il vantaggio aggiuntivo di un movimento più silenzioso e senza ondulazioni, che è importante nelle applicazioni a livello metrologico. Trasmissione ad alta efficienza Un motore DC piegato con una vite conduttrice di precisione rettificata e a basso attrito offre un movimento ultra-liscio anche a carichi elevati. Una cinghia di riduzione tra il motore e la vite conduttrice aumenta la coppia di uscita disponibile e riduce la sensibilità del servo, garantendo un MIM di 100 nm.