PanoramicaIl sistema capacitivo TFG6220 misura con precisione lo spessore di pellicole elettricamente conduttive (ad es. pellicole per batterie). Un dispositivo a vuoto trattiene e livella il campione per fornire una superficie di riferimento priva di pieghe. L’unità è preassemblata per un rapido impiego ed è progettata per controlli di qualità offline a campione casuale.
Funzionalità principali- Livellamento a vuoto della pellicola per rimuovere pieghe e garantire un posizionamento ripetibile
- Staffa di misura con due sensori capacitivi e inserto di misura integrato per un semplice riferimento
- Acquisizione e visualizzazione dati tramite sensorTOOL (interfaccia web)
ApplicazioniVerifica offline rapida dello spessore di pellicole conduttive per controllo qualità e monitoraggio del processo, es. pellicole per batterie.
Caratteristiche / specificazioni tecniche- Risoluzione: 10 nm
- Ripetibilità: 1 µm
- Spessore pellicola misurabile: < 1 mm
- Principio di misura: compensazione tra due sensori capacitivi
- Preparazione del campione: dispositivo a vuoto esterno per livellamento e bloccaggio
- Configurazione: preassemblato, pronto all'uso
- Software: sensorTOOL per visualizzazione e impostazioni