Microscopio a forza atomica NX-Wafer

per ispezione di wafer in lineaindustrialeautomatizzato

NX-Wafer è l'unico AFM per wafer fab con revisione automatica dei difetti. Offre una soluzione AFM completamente automatizzata per l'imaging e l'analisi dei difetti che migliora la produttività della revisione dei difetti fino al 1.000% Caratteristiche uniche: Profilatore a forza atomica a basso rumore per misurazioni accurate e ad alta produttività del profilo CMP Rugosità superficiale sub-angstrom misurata con estrema precisione e variazione minima da punta a punta Software Smart ADR Con Smart ADR di Park, NX-Wafer offre una revisione e un'identificazione dei difetti completamente automatizzate, consentendo un processo critico in linea per classificare i tipi di difetti e individuarne l'origine attraverso immagini 3D ad alta risoluzione. Progettato specificamente per l'industria dei semiconduttori, Smart ADR è la soluzione più avanzata disponibile per la revisione dei difetti, con posizionamento automatico del target senza la necessità di ricorrere a marcature di riferimento che spesso danneggiano il campione. Il processo Smart ADR migliora la produttività fino al 1.000% rispetto ai metodi tradizionali di revisione dei difetti. Inoltre, la nuova funzionalità ADR offre una durata della punta fino a 20 volte superiore grazie all'innovativa tecnologia AFM True Non-Contact™ Mode di Park. Per saperne di più: https://www.parksystems.com/index.php/products/industrial-afm/park-wafer/overview