L'apparecchiatura di lavorazione automatizzata RENA InOxSide® 3 è stata progettata come soluzione integrata per l'isolamento dei bordi, la lucidatura del lato posteriore e la rimozione del vetro drogato delle celle solari al silicio. Utilizzando il processo che garantisce il minor costo di gestione e le migliori prestazioni, la tecnologia InOxSide® è la scelta migliore per la produzione di celle solari in silicio Al-BSF, PERC e PERT. Si basa sulla piattaforma in linea RENA NIAK.
Caratteristiche e vantaggi
Incisione chimica a umido su un solo lato, completamente automatizzata, in un processo di tipo inline su 5/6 corsie
Incisione di emettitori su un solo lato, lucidatura del lato posteriore e rimozione di vetri drogati (PSG/BSG)
Utilizza HF/HNO3/H2SO4 per l'incisione su un solo lato, ottenendo il miglior costo di proprietà (CoO) della categoria
Tecnologia brevettata RENA
Incisione posteriore regolabile: da 1 a 5 µm, fino a 6 µm con l'opzione RENA PreCon)
Risciacquo e asciugatura del wafer integrati
Produzione fino a 6000 wafer/ora
Compatibile con wafer di dimensioni M0, M1, M2, M4, M6 e M12
Lunga durata del bagno grazie alla funzione "feed-and-bleed"
Sistema di dosaggio accurato per una composizione costante del bagno
Utilizza un design dei rulli privo di O-ring
Il tasso di rottura più basso del settore
Basato sulla piattaforma di lavorazione in linea RENA NIAK
Elevato tempo di attività
Facile manutenzione
Opzioni
Interfaccia MES (SECS/GEM)
Armadio per l'alimentazione chimica
Stazione di pompaggio per lo scarico dei prodotti chimici e delle acque reflue
Sensori per il controllo del processo (es. pH, conducibilità)
RENA RaPID (soluzione anti-PID RENA)
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