Unità di trattamento 5500 series

Deposizione in linea a basso costo di film sottili Il sistema SCHMID APCVD offre l'alternativa più economica per la deposizione di pellicola dielettrica. Nel sistema di trasporto dei rulli, solo il substrato viene riscaldato durante il processo, riducendo notevolmente il fabbisogno elettrico e di raffreddamento. Teste di iniezione multiple possono essere utilizzate in serie all'interno di un singolo sistema APCVD. Tre livelli di isolamento a risparmio energetico e graduato riducono ulteriormente le bollette energetiche. Il sistema in linea è disponibile in due configurazioni: con trasporto a nastro o a rulli. Ogni metodo di trasporto ha i suoi vantaggi. Il collaudato sistema APCVD di SCHMID include teste iniettori multipli in serie per massimizzare la produttività, l'uniformità e la flessibilità del processo, riducendo al minimo i costi. L'HMI di livello mondiale consente al cliente di monitorare e controllare facilmente tutti i parametri di processo in un ambiente touchscreen di facile utilizzo. La progettazione attenta alla manutenzione consente di pulire gli iniettori chimici e i condotti di scarico mentre sono in posizione sull'impianto e senza significative interruzioni del processo. I gruppi modulari della testa iniettore di vapore chimico consentono un'installazione e rimozione rapida e semplice dalla camera di verniciatura. Tutte le parti della testa dell'iniettore sono strutture lavorate con precisione e di lunga durata che garantiscono un'accurata distribuzione di prodotti chimici anche dopo un uso prolungato. I sistemi termici di SCHMID sono diventati famosi per la stabilità di processo e il sistema APCVD continua questa tradizione. Il controllo stabile e insuperabile dell'uniformità della temperatura assicura risultati di processo coerenti. Inoltre, i controlli di precisione dello scarico del processo e del flusso del precursore garantiscono risultati coerenti del film.