Il sistema di rivestimento sottovuoto G4000MR è un torre di verniciatura su scala di produzione progettata per la produzione di rivestimenti riflettenti e protettivi uniformi su articoli ottici di grandi dimensioni, compresi gli specchi primari astronomici.
Ingegneria e tecnologia
La configurazione del torre di verniciatura e le caratteristiche del processo di deposizione sono state sviluppate appositamente per lavorare articoli fino a 4 metri di diametro con piccoli magnetroni controllati dal software che si muovono lungo un percorso calcolato a velocità regolabile. La velocità di movimento dei magnetroni e la velocità di rotazione dello specchio vengono abbinate per ottenere uno spessore di rivestimento eccezionalmente uniforme. Lo specchio è posizionato a faccia in giù e viene ruotato più volte durante il ciclo.
Il G4000MR è destinato a depositare rivestimenti a riflessione di alluminio, argento e altri metalli. Lo strato di ossido di silicio sopra il rivestimento riflettente assicura caratteristiche protettive resistenti all'usura del pacco di rivestimento. Prima della deposizione del rivestimento, la superficie dello specchio viene trattata al plasma con una sorgente ionica mobile per garantire una buona adesione. Il rivestimento viene depositato con processi di sputtering metallico e magnetronico reattivo. I magnetroni circolari sono alimentati con alimentatori a corrente continua pulsata. Per controllare la velocità di deposizione del film sottile in crescita si utilizzano dispositivi basati su risonatori a cristallo di quarzo.
Il vuoto necessario per il rivestimento è assicurato da criopompe frigorifere e da una turbopompa collegata a soffianti Roots e pompe di compressione a secco.
Il sistema di controllo assicura un processo completamente automatizzato.
La torre di verniciatura e il processo di rivestimento possono essere personalizzati in base alle esigenze del cliente.
Substrato: specchi astronomici in vetroceramica di grandi dimensioni
Diametro del substrato: fino a 4 m
Numero di substrati: 1 pz.
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