Macchina per deposizione per polverizzazione catodica a magnetron SAF25/50

Strumenti multifunzionali per i cluster di R&S SAF Applicazione Lo strumento multifunzionale SAF25/50 è destinato a lavori di ricerca e sviluppo, nonché a studi di fattibilità e a lavori accademici più generali nel campo delle tecnologie a film sottile. Ingegneria e tecnologia Lo strumento è un sistema multifunzionale, espandibile, modulare e flessibile. Lo strumento comprende una camera di ingresso/uscita con cannone ionico, una camera centrale di trasferimento del substrato con braccio di trasporto telescopico radiale e fino a 7 camere di deposizione. Il substrato è posizionato orizzontalmente su un supporto. Le zone di deposizione sono configurate per la rotazione o lo spostamento del substrato durante la deposizione verso l'alto. La multifunzionalità e la flessibilità dello strumento si basano sulle seguenti caratteristiche chiave: - Ogni camera può funzionare in modo indipendente grazie a mezzi di pompaggio, controlli e connessioni di utilità individuali. - Le camere di deposizione e le sorgenti di deposizione sono intercambiabili. - La camera di trasferimento centrale impedisce la contaminazione incrociata del processo e garantisce il trasferimento del substrato senza sfiatare le camere. - È possibile integrare diversi tipi di sorgenti di deposizione, tra cui celle termiche a sublimazione, barche resistive, crogioli e magnetron sputter. - I magnetroni sputter gemelli, singoli e doppi possono essere alimentati da alimentatori CC, CC pulsati, MF e RF. - È possibile raffreddare e riscaldare il substrato a contatto e senza contatto. - È possibile aggiungere una glove box per il caricamento del substrato in atmosfera di gas inerte e un caricatore di substrati. - Un numero predefinito di flange cieche installate sulle camere consente di collegare strumentazione e accessori tecnologici personalizzati.