Macchina per deposizione per polverizzazione catodica

di pellicola metallizzata

Verniciatore ad evaporazione EB Applicazione Rivestimento di lamine metalliche mediante evaporatori a fascio elettronico per la produzione di strati di metallo e ossidi per varie applicazioni funzionali. Ingegneria e tecnologia Il sistema di verniciatura ad evaporazione EB è un impianto batch roll-to-roll per la produzione di massa e la ricerca e sviluppo. Le zone di deposizione sono disposte attorno a due tamburi di processo. Il design brevettato dei tamburi di processo con sfiato e raffreddamento garantisce un'efficace rimozione del calore dal substrato. È possibile depositare rivestimenti bifacciali e unilaterali di spessore fino a 5 µm su substrati relativamente sottili in un unico ciclo. Prima della deposizione del rivestimento, il substrato viene sottoposto a pretrattamento al plasma e vengono applicati strati di adesione metallica per garantire la qualità del rivestimento e la forza di adesione. La deposizione è realizzata da 12 cannoni a fascio elettronico (6 pezzi per ogni tamburo) che generano un'evaporazione ad alta velocità. Ogni evaporatore comprende un crogiolo raffreddato ad acqua e un meccanismo di alimentazione dei lingotti di evaporante. Il rifornimento controllato di lingotti di evaporante e il monitoraggio continuo del livello di fusione dell'evaporante su ciascun crogiolo garantiscono l'uniformità del rivestimento. Il design della camera a più scomparti garantisce la necessaria differenza di pressione tra le zone di pretrattamento, sputtering ed evaporazione. La stazione di pompaggio è basata sulle criopompe a bordo CTI-Cryogenics. Il sistema di avvolgimento controllato da software con celle di carico e lo specifico metodo di stesura del substrato sui tamburi di processo assicurano una gestione del nastro senza graffi e grinze. Il sistema di controllo funziona in modalità automatica e manuale. Scheda tecnica Substrato: fogli metallici Larghezza del substrato: fino a 600 mm Spessore del substrato: 20 ... 100 µm Diametro del rotolo: fino a 300 mm