Interferometro per applicazioni OEM SP 5000 DI/DS

per misurazione di spostamentoper misura di lunghezzaottico

Descrizione
Lo SP 5000 DI/DS unisce il principio dell'interferometro differenziale a quello di un interferometro multi‑raggio per fornire misure simultanee e molto stabili di lunghezza e angolo (inclinazione). Questa configurazione consente di rilevare spostamenti estremamente piccoli e minime inclinazioni su aree estese, riducendo l'influenza di effetti termici e ambientali.

Caratteristiche principali

• Sistema di misura differenziale spostamento‑angolo a interferometria laser a quattro raggi
• Misure differenziali di lunghezza e angolo di beccheggio altamente stabili
• Progettato per integrazione su tavole XY e specchi piani
• Distanze tra i fasci: 15 mm (misura di lunghezza) e 6 mm (misura di angolo)
• Sensibilità alla temperatura estremamente bassa < 20 nm / K
• Versioni OEM e per vuoto disponibili su richiesta

Applicazione e utilizzo
L'interferometro è destinato al montaggio su specchi piani o come sistema di misura integrato; è possibile l'uso con riflettori. L'allineamento avviene mediante componenti ottici ultra‑stabili integrati nel percorso del fascio, garantendo misurazioni ripetibili e stabili nel tempo.

Ambiti di applicazione

• Misura simultanea di lunghezza e angolo per compensare l'errore di Abbe in dispositivi di misura di precisione
• Controllo di posizione di tavole X‑Y utilizzando due teste sensore per misurazione coordinata
• Misure di lunghezza e angolo stabili a lungo termine con massima risoluzione

Ideale per

• Monitoraggio e calibrazione a lungo termine
• Integrazione OEM in sistemi di precisione
• Applicazioni con requisiti massimi di stabilità e risoluzione

Caratteristiche tecniche

• Campo di misura (lunghezza): 0 m a ≥ 2 m
• Risoluzione in lunghezza: 5 pm
• Incertezza di misura della lunghezza: 0,15 µm/m
• Angolo massimo di inclinazione (con specchio piano): ±430 µrad
• Risoluzione angolare: 0,02 µrad
• Distanze tra i fasci: 15 mm (lunghezza), 6 mm (angolo)
• Sensibilità alla temperatura: < 20 nm / K
• Principio di misura: combinazione di interferometro differenziale e interferometro multi‑raggio per misura simultanea di lunghezza e angolo
• Versioni: standard, varianti OEM e versioni per vuoto (su richiesta)