Innovacera sfrutta la sua profonda esperienza nel campo della ceramica e le sue capacità di processo per produrre ceramiche con una porosità controllata con precisione. Le ceramiche porose sono spesso utilizzate per la filtrazione chimica e la separazione dei fluidi.
La gamma di ceramiche porose Innovacera è composta da ossido di alluminio e carburo di silicio. La ceramica porosa, forte e uniforme, ha una porosità aperta del 40-50% con una struttura tortuosa dei pori ed è disponibile con dimensioni dei pori comprese tra 1 e 100 micron.
Tre applicazioni principali della ceramica porosa:
Mandrino a vuoto, come il mandrino a vuoto per scribing machine, il mandrino a vuoto per wafer di silicio.
Piattaforma di adsorbimento.
Piattaforma di sospensione.
In particolare, sono ampiamente utilizzati per l'industria dei semiconduttori, come la lavorazione dei wafer LED.
Il disco di lavoro in ceramica microporosa è uno strumento speciale per l'adsorbimento e il supporto in vari processi di produzione di wafer di semiconduttori e viene applicato a processi quali l'assottigliamento, la cubettatura, la pulizia e la movimentazione.
Possono essere utilizzati con apparecchiature giapponesi, tedesche, israeliane, statunitensi e nazionali, come Disco, ADT, K & S, Applied materials TSK, OKAMOTO, Micro Automation, Load Point.
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