Descrizione del prodottoQuesta piastra rettangolare in ceramica porosa di allumina (Al2O3) è progettata per adsorbimento sotto vuoto di precisione e applicazioni di cuscinetto d'aria (galleggiamento ad aria) nei settori della produzione di semiconduttori e dell'industria avanzata. La sua struttura porosa uniforme garantisce forza di tenuta sotto vuoto costante e distribuzione omogenea del flusso d'aria, permettendo la movimentazione senza contatto e senza danni di wafer, pannelli e substrati sottili. La piastra è adatta a linee produttive ad alta pulizia e alta precisione.
Specifiche del prodottoFormula: Al2O3
Forma: Piastra
Materiale: Ceramica porosa di allumina
Numero CAS: 1344-28-1
Prodotto: Piastra ceramica porosa
Specifiche / TolleranzeLunghezza: 400 mm ±0,1 mm
Larghezza: 300 mm ±0,1 mm
Spessore: 4 mm ±0,1 mm
Applicazioni tipiche- Sistemi di vacuum chuck per semiconduttori (vacuum chuck per rettifica wafer, taglio wafer, stampa)
- Pulizia e manutenzione dei vacuum chuck
- Vacuum chuck per trasferimento e movimentazione di wafer/pannelli
- Piattaforme di cuscinetto d'aria e galleggiamento ad aria di precisione
- Produzione di pannelli LCD e OLED
- Processamento microelettronico dei semiconduttori
- Movimentazione di vetro e pannelli per telefoni cellulari
- Processi di film sottili e rivestimenti
- Piattaforme di lavorazione laser
- Sistemi di stampa e rivestimento
- Industria fotovoltaica e produzione di celle solari
Caratteristiche principali- Struttura porosa uniforme e stabile per prestazioni prevedibili
- Adsorbimento sotto vuoto affidabile, adatto alla movimentazione dei wafer
- Distribuzione uniforme del flusso d'aria per uso in cuscinetto d'aria/galleggiamento
- Consente la movimentazione senza contatto per ridurre al minimo i danni
- Elevata precisione dimensionale e tolleranze ridotte
- Progettata per ambienti di produzione in camera bianca
- Formato rettangolare ampio per ospitare wafer o pannelli di grandi dimensioni
Proprietà fisicheDensità: 2,3–2,5 g/cm³
Proprietà meccanicheDurezza (HRA): ≥ 50,00
Caratteristiche tecniche- Formula chimica: Al2O3
- Dimensione standard: 400 × 300 × 4 mm (tolleranza ±0,1 mm)
- Dimensione dei pori (variante esempio): 30 µm
- Colore (variante esempio): Marrone chiaro
- Quantità per confezione: 1 pz per unità
- SKU (variazione esempio): 69296-00001-1068
- Intervallo di densità tipico: 2,3–2,5 g/cm³
- Durezza: HRA ≥ 50
- Uso previsto: vacuum chuck per semiconduttori, piattaforme a cuscinetto d'aria/galleggiamento, movimentazione wafer/pannelli in ambienti ad alta pulizia