Piastra a vuoto circolare

in ceramicaper lavorazioneper pezzi da lavorare

Descrizione del prodotto
Dischi ceramici porosi in carburo di silicio (SiC) progettati per adsorbimento sotto vuoto di precisione e applicazioni di galleggiamento ad aria nei processi di produzione di semiconduttori e manifattura avanzata. Il materiale SiC garantisce durezza, conducibilità termica e resistenza chimica per mantenere forza di presa al vuoto stabile e distribuzione uniforme del flusso d'aria, consentendo la movimentazione senza contatto di wafer, pannelli e substrati sottili.

Specifiche del prodotto
Formula: SiC
Forma: Disco
Materiale: Ceramica porosa in carburo di silicio
Numero CAS: 409-21-2
Prodotto: Dischi ceramici porosi

Applicazioni tipiche

• Sistemi di mandrino a vuoto per semiconduttori (rettifica wafer, dicing, stampa)
• Pulizia dei mandrini a vuoto
• Mandrini per trasferimento e movimentazione
• Piattaforme a cuscinetto d'aria e galleggiamento ad aria di precisione
• Produzione di pannelli LCD e OLED
• Processi microelettronici dei semiconduttori
• Movimentazione di vetro e pannelli per telefoni cellulari
• Processi di film sottili
• Piattaforme per lavorazioni laser
• Sistemi di stampa e rivestimento
• Industria fotovoltaica e celle solari

Caratteristiche principali

• Struttura porosa uniforme e stabile per prestazioni costanti
• Affidabile capacità di adsorbimento sotto vuoto, adatta alla movimentazione dei wafer
• Distribuzione uniforme del flusso d'aria per galleggiamento ad aria
• Consente la movimentazione senza contatto e a basso danno dei substrati delicati
• Elevata precisione dimensionale e tolleranze ristrette
• Progettato per ambienti di produzione puliti e camere bianche

Specifiche e varianti

• Esempio standard: D80×2 mm (altre misure e spessori disponibili)
• Diverse strutture dei pori (taglie tipiche: 15 µm; disponibile anche 30 µm)
• Distribuzione dei pori coerente su tutte le varianti

Specifiche / Tollerenze (Disco)
Spessore: 2 mm ±0,1 mm
Diametro esterno: 80 mm ±0,1 mm

Proprietà fisiche
Densità (g/cm³): 2,0 - 2,2

Proprietà meccaniche
Durezza (HRA): ≥ 40,00

Caratteristiche tecniche

• Diametri e spessori disponibili su richiesta (es.: D80×2 mm)
• Imballaggio tipico: 1 pezzo per unità (opzioni personalizzate disponibili)
• Colore: grigio (possibili variazioni)