Piastre di posizionamento rotative Physik Instrumente

Corsa: 50 µm - 240 µm
Ripetibilità: 5, 10 nm

... Alta dinamica con grande apertura - Cinematica parallela per tempi di risposta più rapidi e maggiore precisione multiasse - Sistema di guida a flessione ad alta precisione e a gioco zero - Eccezionale durata grazie agli attuatori piezoelettrici PICMA - ...

Corsa: 32 mm

... della posizione con encoder incrementale con risoluzione di 0,75 µrad - Movimento incrementale minimo fino a 3 µrad - Campo di rotazione >360 - Velocità 45°/s Descrizione del prodotto Gli azionamenti piezoelettrici a inerzia sono azionamenti ...

... e planarità < 100 nm Opzione di autobloccaggio a riposo tramite precarico magnetico Panoramica del prodotto Gli stadi di rotazione a basso profilo ad azionamento diretto della serie PIglide RL sono progettati per garantire la massima ...

... Disponibili varianti compatibili con il vuoto Stadio di rotazione di classe di riferimento Posizionamento di alta precisione grazie alla vite senza fine precaricata a basso gioco. Cuscinetti di rotazione ...

... mm di diametro, apertura di 260 mm di diametro - Eccentricità e planarità < 300 nm Panoramica del prodotto Gli stadi di rotazione ad azionamento diretto della serie PIglide RLA sono progettati per una precisione elevatissima. Hanno ...

... a 10-7 hPa Campo di corsa illimitato Ripetibilità fino a 87 µrad apertura di 20 mm Interruttore di riferimento Stadio di rotazione di classe standard Azionamento a vite senza fine. Apertura con Ø 20 mm. Interruttore di riferimento. Ridotto ...

Corsa: 5, 2,5 mm
Velocità: 200 mm/s
Ripetibilità: 0,25 mm

... riceve un sistema di posizionamento completo e pronto all'uso. Accessori e opzioni Set di filtri aria Campi di applicazione Lo stadio Z tip/tilt è ideale per applicazioni di alta precisione, come l'ispezione di wafer, il posizionamento ...