Macchina di evaporazione sotto vuoto antiriflettente SYRUSpro series

riflettente

Panoramica
La serie SYRUSpro di Bühler Leybold Optics è un impianto di deposizione sottovuoto per ottica di precisione progettato per la produzione continua 24/7 di filtri ottici nei campi spettrali DUV, VIS e IR. Fornisce soluzioni configurabili per specifiche di rivestimento impegnative e produzione ad alto rendimento.

Vantaggi principali

• Progettata per applicazioni gravose: Soddisfa specifiche stringenti per IR, DUV e regimi di lunghezze d'onda estreme.
• Adattata al processo: Ampia scelta di componenti di alta qualità per configurare la macchina in base ai requisiti di processo.
• Massima flessibilità: Otto misure di camera per adattarsi alla capacità di carico e alle dimensioni dei substrati.

Caratteristiche principali

• Opzioni di camera: Otto dimensioni con diametri interni da 710 mm a 2800 mm per adattarsi a carico e dimensione del substrato.
• Scelta dei rivestimenti: Supporta filtri di bordo (short/long pass), filtri di taglio UV/IR, notch e filtri a banda stretta, filtri dicroici, divisori di fascio polarizzanti, rivestimenti AR e HR per laser e altri rivestimenti ottici specializzati.
• Flessibilità dei componenti chiave: Configurabile con monitoraggio ottico in-situ, sorgenti plasma, ampia gamma di evaporatori a fascio di elettroni e termici, misura con cristallo di quarzo (QCM) e sistemi di supporto substrato multipli.

Altre caratteristiche

• Automazione: Controllo di processo avanzato che combina elevata flessibilità di programmazione con alti livelli di automazione per una produzione continua efficiente.
• Ottimizzazione DUV: Opzioni di trattamento delle superfici di camera, materiali selezionati e configurazioni componenti su misura per rivestimenti a bassa perdita nella fotolitografia a 193 nm.
• Applicazioni IR: Adattamenti per elevati apporti di materiale IR, garantendo eccellenti prestazioni di strato e uniformità su substrati piani e fortemente curvati.
• Personalizzabile: Bühler Leybold Optics collabora con i clienti per definire configurazioni che assicurino qualità, efficienza e affidabilità.

Download

• Brochure Precision optics (PDF)
• Dati tecnici: Syruspro series (PDF)

Caratteristiche / specifiche tecniche

• Serie / Modello: SYRUSpro
• Applicazione: produzione in volume di filtri ottici 24/7
• Range spettrali: DUV, VIS, IR
• Dimensioni camera: 8 opzioni; diametri interni 710 mm a 2800 mm
• Tipi di rivestimento supportati: filtri di bordo, taglio UV/IR, notch, banda stretta, filtri dicroici, divisori di fascio polarizzati, AR/HR per laser, ecc.
• Componenti configurabili: monitoraggio ottico in-situ, sorgenti plasma, evaporatori a fascio di elettroni e termici, QCM, sistemi di supporto substrato
• Automazione: controllo di processo avanzato con alta flessibilità di programmazione per produzione continua
• Ottimizzazione DUV: trattamenti superfici e materiali selezionati per rivestimenti 193 nm a basse perdite
• Capacità IR: configurato per alto throughput di materiale IR e uniformità su substrati piani e curvi