Macchina di evaporazione sotto vuoto antiriflettente DLC 600

Panoramica
LEYBOLD OPTICS DLC 600 è un impianto di deposizione in vuoto di precisione che utilizza la deposizione chimica da gas assistita da plasma (PECVD) per applicare film di carbonio tipo diamante (DLC) su componenti ottici e di imaging termico. È progettato per ottenere strati DLC duri, uniformi e resistenti agli agenti ambientali, ottimizzati per applicazioni antiriflesso nell'infrarosso su substrati Ge e Si.

Benefici principali

• Ampia compatibilità dei substrati: Il bloccaggio per gravità consente di processare forme e geometrie varie fino a 300 mm di diametro e circa 30–40 mm di altezza.
• Prestazioni IR mirate: Parametri di processo e materiali sono tarati per substrati in Ge e Si, migliorando la trasmittanza IR e garantendo prestazioni antiriflesso costanti.
• Strati DLC protettivi e durevoli: Il sistema deposita film DLC estremamente duri e uniformi con elevata resistenza ambientale per proteggere le superfici ottiche esposte.

Caratteristiche in evidenza
Camera di processo e distribuzione dei gas — uniformità di riferimento: Il design della gas shower del DLC 600 assicura una distribuzione molto uniforme dei gas nella camera, garantendo una crescita del film consistente e un controllo accurato dello spessore su tutta l'area di rivestimento, fondamentale per applicazioni IR e a bassa luce come visione notturna e sensori di distanza.

Monitoraggio ottico in situ — ripetibilità degli stack di strati: Il sistema di monitoraggio ottico OMS 5100 integrato controlla la crescita del film in tempo reale, assicurando tolleranze di spessore e alta ripetibilità affinché gli stack progettati corrispondano al prodotto finito.

Specifiche tecniche

• Tecnologia di deposizione: plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) per film DLC.
• Tipo di rivestimento: diamond-like carbon (DLC) — duro, uniforme e resistente agli agenti esterni.
• Substrati supportati: Germanio (Ge) e Silicio (Si), ottimizzato per anti-riflesso IR.
• Diametro max. del substrato: fino a 300 mm.
• Altezza tipica del substrato: circa 30–40 mm.
• Gestione substrati: bloccaggio per gravità per diverse geometrie.
• Controllo processo: OMS 5100 monitoraggio ottico in situ per controllo spessore e ripetibilità.
• Distribuzione gas: gas shower specifica per uniformità eccellente.
• Codice prodotto: CUBE-00010-019.

Applicazioni tipiche

• Rivestimenti antiriflesso IR per ottiche di precisione.
• Strati DLC protettivi per dispositivi per visione notturna e sistemi di imaging termico.
• Sensori e componenti in banda IR che richiedono rivestimenti durevoli e ripetibili.