Sistema robotizzato Versa

La piattaforma cluster Versa, di proprietà di Denton Vacuum, è un'opzione front-end automatizzata per la produzione di grandi volumi. Può essere configurata con un massimo di due blocchi di carico per cassette e sei camere o moduli di rivestimento. Un manipolatore robotico per semiconduttori sposta i substrati dai blocchi di carico ai moduli per rivestirli in più strati di materiali diversi senza interrompere il vuoto. Versa è progettato per funzionare con moduli di processo da 200 o 300 mm. È compatibile con il modulo sputter Discovery e con il sistema PE-CVD Voyager e dispone di moduli sputter etch dedicati e di opzioni metrologiche dedicate. È disponibile anche un modulo di pre-pulizia dedicato e il condizionamento del substrato. Per consentire la produzione di grandi volumi durante la deposizione di film sottili, il Versa funziona con il software ProcessPro-HV di Denton, che utilizza un programmatore di materiali e un gestore di ricette completamente automatizzati per caricare i moduli ed eseguire le fasi del processo in camere multiple con precisione ed efficienza. ProcessPro-HV è conforme a SEMI E95 e dispone di una registrazione completa dei dati e di grafici all'interno dello strumento per il controllo e l'analisi del processo. Versa consente una maggiore efficienza produttiva per soddisfare requisiti di produttività più elevati. Automatizza il processo di caricamento per massimizzare l'efficienza ed è compatibile con la deposizione di metalli e ossidi. La configurazione multicamera consente di rivestire più strati alla volta senza interrompere il vuoto e di risparmiare tempo sfiatando solo il blocco di carico della cassetta anziché l'intero modulo sputter.