Sistema di misurazione per wafer MicroProf® FS

FRT MicroProf® FS è uno strumento di metrologia per wafer completamente automatizzato, configurabile per un'ampia gamma di applicazioni nella fonderia di wafer, utilizzando soluzioni standard e personalizzate. Flessibilità e versatilità sono parole chiave quando si tratta di soluzioni metrologiche per le attuali applicazioni della fonderia di silicio. MicroProf FS offre un approccio modulare per creare uno strumento multisensore completamente automatizzato in grado di risolvere tutte le attività di misura richieste. Ecco perché lo chiamiamo Foundry Star! Come componente metrologico di base, il collaudato strumento metrologico multisensore FRT MicroProf 300 viene utilizzato per consentire la misurazione di prodotti diversi e, utilizzando un concetto di metrologia ibrida, migliora la precisione delle misure su campioni in cui un singolo sensore o principio di misura non è sufficiente. Il sistema di misura del MicroProf FS è dotato di un'impostazione di base in granito, con un dispositivo di fissaggio del campione a tre punti o un mandrino a vuoto.