Sistema di misurazione di spessore MicroProf® 100

otticoper wafercompatto

L'FRT MicroProf® 100 è lo strumento universale di metrologia delle superfici per la determinazione rapida e semplice della topografia, dello spessore del film e dello spessore del campione. Come unità compatta da tavolo, e quindi il membro più piccolo della famiglia di multi-sensori MicroProf, il MicroProf 100 offre tutta la flessibilità dei suoi fratelli maggiori. Si basa sulla nostra collaudata tecnologia SurfaceSens, in cui diversi metodi di misurazione ottica - che altrimenti possono essere trovati solo in soluzioni individuali - sono fusi in un dispositivo universale e poco ingombrante. Inoltre, l'FRT MicroProf 100 può essere dotato dell'opzione TTV per l'ispezione del campione su due lati. Ciò consente di misurare contemporaneamente la parte superiore e inferiore del campione e di determinare lo spessore del campione durante lo stesso processo di misurazione. Grazie alla sua struttura modulare, questo strumento metrologico può essere adattato alle vostre applicazioni specifiche. Oltre ai vari sensori che possono essere aggiunti, il software può essere configurato individualmente e le operazioni di misura possono essere eseguite manualmente o automaticamente.