Sistema di misurazione 3D MicroProf® FE

per wafer

FRT MicroProf® FE è lo strumento standard di FormFactor per la metrologia dei wafer 2D/3D completamente automatizzato. Combina le capacità dell'affermato MicroProf 300 con un sistema di manipolazione dei wafer all'interno di un modulo EFEM (Equipment Front End Module). Grazie a soluzioni metrologiche pienamente conformi alle norme SEMI e a componenti hardware quasi privi di manutenzione, che garantiscono un'ispezione ad alta produttività, MicroProf FE è la soluzione metrologica per qualsiasi stabilimento HVM front-end. Oltre alla configurazione standard, l'FRT MicroProf FE può essere dotato di numerose funzioni aggiuntive, che possono essere adattate anche in un secondo momento.