Forno a diffusione LPad armadio
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Caratteristiche
- Funzione
- a diffusione
- Configurazione
- ad armadio
Descrizione
Questa macchina è progettata per drogare il fosforo e il boro per formare la "giunzione p-n", un componente critico delle celle solari in silicio cristallino.
Spec
POCl₃
Alta produttività: 7.854 wafer/ora (2.400 wafer/barca)
Tempo di ciclo: 110 min
Tempo di attività: 99%
BBr₃
Alta produttività: 3.600 wafer/ora (2.400 wafer/barca)
Tempo di ciclo: 240 min
Tempo di attività: 99%
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Cataloghi
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