L'iSE è un nuovo ellissometro spettroscopico in situ sviluppato per il monitoraggio in tempo reale della lavorazione dei film sottili. Utilizzando la nostra tecnologia collaudata, l'iSE permette agli utenti di ottimizzare le proprietà ottiche dei film depositati, controllare la crescita del film con sensibilità sub-angstrom e monitorare la cinetica di crescita.
Potente
Con la potenza dell'ellissometria spettroscopica (SE), l'iSE è in grado di misurare lo spessore e le proprietà ottiche con una certezza molto maggiore rispetto ad altre tecniche.
Compatto
Il nuovo design compatto permette una facile integrazione in qualsiasi camera.
Versatile
Determina accuratamente lo spessore e le proprietà ottiche di un'ampia varietà di film sottili, compresi metalli, semiconduttori, ossidi, nitruri e altro.
Accessibile
La potenza dell'ellissometria spettroscopica ad un prezzo ragionevole.
Facile da usare
Interfaccia user-friendly per l'analisi in tempo reale della crescita del film sottile e dell'incisione.
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