Ellissometro spettroscopico theta-SE

Il theta-SE è un ellissometro spettroscopico a pulsante per caratterizzare l'uniformità del film sottile. Presenta una strumentazione ellissometrica avanzata in un pacchetto compatto ad un prezzo accessibile. Completamente integrato Theta-SE è dotato di una mappatura del campione di 300 mm, di un fascio di misura a piccoli punti, di un allineamento rapido del campione, di una telecamera look-down e della nostra ultima tecnologia ellissometrica Dual-Rotation. Theta-SE ha tutto il necessario per misurare l'uniformità spaziale dello spessore del film e delle proprietà ottiche. Alta velocità Il rendimento del campione è ottimizzato utilizzando la traslazione veloce punto a punto, l'allineamento del campione ad alta velocità e la tecnologia dell'ellissometro a doppia rotazione per la raccolta continua dei dati. Compatto Lo stadio di rotazione brevettato Dual-Theta permette una mappatura completa di 300 mm in un piccolo strumento da tavolo. L'ingombro dello strumento è solo leggermente più grande di un wafer da 300 mm. Facile da usare L'analisi automatizzata dei dati e la reportistica integrata consentono un funzionamento a pulsante e un rapido accesso ai risultati delle misurazioni. Accessibile Il theta-SE offre la potenza dell'ellissometria spettroscopica e la mappatura dell'uniformità di 300 mm ad un prezzo ragionevole.