Panoramica del prodottoSoluzioni di regolazione e valvole per gas ad Ultra Alta Purezza (UHP) progettate per fabbriche di semiconduttori e linee di distribuzione gas per fotovoltaico avanzato. Progettate per funzionamento continuo in camera pulita e flussi di gas a sei‑nove di purezza.
ContestoValvole e regolatori UHP sono componenti essenziali nella produzione di semiconduttori e celle PV. Componenti di precisione prodotti da fornitori cinesi consolidati rispettano gli standard internazionali per la pulizia dei materiali, l'integrità delle tenute e la bassa generazione di particelle.
Specifiche tecniche e scienza dei materiali- Metallurgia: forgiato in acciaio inox 316L a doppia fusione VIM VAR per minimizzare le inclusioni e massimizzare la resistenza chimica.
- Topologia superficiale: percorsi bagnati interni elettrolucidati a Ra < 5 μin per ridurre l'intrappolamento di particelle e agevolare il purge.
- Tenuta ermetica: membrane metallo‑su‑metallo con integrità di perdita all'elio < 1×10-9 atm·cc/s.
Vantaggi strategici sul mercato- Protezione del rendimento: isolamento totale di gas tossici, corrosivi e piroforici (es. silano, ammoniaca) durante i processi di deposizione e incisione.
- Integrazione di sistema: connessioni VCR face‑seal standard per compatibilità con Valve Manifold Boxes (VMB), armadi gas e sistemi automatizzati.
- Efficienza di approvvigionamento: opzioni di approvvigionamento diretto per ottimizzare i costi fornendo hardware certificato per camera pulita e funzionamento 24/7.
Famiglia prodotti — JR1000 SeriesJR1000 Series — regolatore di pressione a stadio singolo per applicazioni a flusso basso‑medio.
Caratteristiche- Materiale corpo: SS 316L; opzione 316L VIM VAR disponibile.
- Tenuta a membrana metallo‑su‑metallo.
- Finitura interna elettrolucidata con Ra < 5 μin.
- Volume interno ridotto per minimizzare la ritenzione di gas.
- Pressione d'ingresso massima fino a 3500 psig.
- Coefficienti di flusso: Cv 0,09 e Cv 0,15.
- Capacità di flusso: standard 30 SLPM; opzione High Flow (HF) 120 SLPM.
- Assemblaggio ed imballaggio in camera pulita; ogni unità testata con elio prima della spedizione.
Dati tecnici principaliSono disponibili disegni tecnici, diagrammi dimensionali e curve di flusso che descrivono layout meccanico, prestazioni e matrice d'ordinazione per la famiglia JR1000. Dimensioni in millimetri; fare riferimento alla scheda tecnica per le specifiche complete.
Dati tecnici / Specifiche- Serie: JR1000 Series (regolatore di pressione a stadio singolo).
- Materiale corpo: acciaio inox 316L; opzione 316L VIM VAR.
- Finitura superfici bagnate: elettrolucidata, Ra < 5 μin.
- Tenuta: membrana metallo‑su‑metallo; integrità di perdita all'elio < 1×10-9 atm·cc/s.
- Classificazione pressione di ingresso: fino a 3500 psig.
- Coefficienti di flusso: Cv = 0,09 e 0,15.
- Capacità di flusso: standard 30 SLPM; opzione HF 120 SLPM.
- Connessioni: face‑seal VCR standard per integrazione in VMB e armadi gas.
- Applicazioni: fabbriche di semiconduttori, produzione fotovoltaica avanzata, laboratori e sistemi di distribuzione gas ad alta purezza.
- Test: test di perdita con elio su ogni unità; assemblaggio e imballaggio in camera pulita.