Valvola a membrana LD

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Panoramica del prodotto
La valvola a membrana Jewellok LD SERIES in acciaio inox 316L VIM‑VAR per altissima purezza offre isolamento dei fluidi per sistemi di distribuzione gas per semiconduttori. Progettata per ambienti cleanroom, gestisce gas speciali, pericolosi e corrosivi in scatole collettore, armadi gas e collegamenti punto‑uso dove è richiesta assenza di contaminazione.

Progettazione tecnica principale

• Metallurgia VIM VAR: Acciaio 316L fuso in doppio vuoto e forgiato per ridurre inclusioni non metalliche, migliorare la resistenza alla corrosione e ridurre il rischio di fragilizzazione da idrogeno.
• Percorsi bagnati elettrolucidati: Canali interni elettrolucidati con finitura ultra liscia (< 5 μin Ra) per limitare il ritenimento di particelle e facilitare le operazioni di purge.
• Tenuta ermetica della membrana: Tenuta metallo‑su‑metallo con leghe ad alta resistenza per evitare elastomeri morbidi; perdita di elio < 1×10-9 atm·cc/s (test spettrometrico).
• Volume morto zero: Geometria interna ottimizzata per prevenire perdite virtuali e stagnazione dei fluidi, proteggendo i processi wafer submicron da impurità residue.

Procedure di installazione e sicurezza
Le valvole sono fornite in doppio sacchetto per la manipolazione in cleanroom. Installare solo in ambienti certificati. Orientare il corpo secondo la freccia di flusso e collegare con raccordi VCR a tenuta faccia‑faccia con guarnizioni metalliche. Eseguire test di perdita con elio e ciclo di purge con azoto prima di introdurre gas tossici o piroforici. Programmare ispezioni periodiche per verificare le prestazioni dell'attuatore pneumatico o manuale.

LD SERIES — Valvola a membrana manuale a bassa pressione
Caratteristiche

• Corpo: Acciaio inox 316L VIM‑VAR adatto ad applicazioni ad altissima purezza; rugosità superficiale bagnata < 5 μin Ra; design che minimizza le aree di intrappolamento, facilita il purge e massimizza la portata.

Membrana

• Hastelloy C‑22 o superleghe a base di cobalto (UNS R30003) per elevata resistenza meccanica e alla corrosione; ottimizzate per lunga durata in cicli.

Sede

• Sede completamente contenuta in PCTFE resistente al rigonfiamento e alla contaminazione, riduce la generazione di particelle e migliora le prestazioni di tenuta all'elio; assemblata e imballata secondo procedure di pulizia rigorose.
• Ogni unità è sottoposta a prova di perdita con elio prima della spedizione.

Dati tecnici
Disegni di riferimento e diagrammi dei canali di flusso forniti (dimensioni in millimetri; soggetti a modifica).

Forma del canale di flusso
Geometria ottimizzata per ridurre i volumi morti e migliorare l'efficienza di purge.

Informazioni per l'ordine
Specifiche standard e configurazioni modello disponibili; consultare le tabelle d'ordine o la documentazione di prodotto per le opzioni.

Specifiche tecniche

• Brand: Jewellok
• Series / Model: LD SERIES
• Body material: 316L VIM‑VAR stainless steel (double vacuum melted)
• Wetted path finish: Electropolished, surface roughness under 5 micro inches Ra
• Diaphragm materials: Hastelloy C‑22 or cobalt‑based superalloys (UNS R30003)
• Seat material: Fully contained PCTFE
• Sealing: Metal‑to‑metal hermetic diaphragm (no soft elastomers)
• Helium leak rate: < 1×10-9 atm·cc/s (helium mass spectrometer test)
• Design: Zero dead volume, optimized internal architecture to prevent virtual leaks
• Packaging: Double‑bagged for cleanroom handling
• Applications: Semiconductor gas distribution systems, valve manifold boxes, gas cabinets, point‑of‑use tool hookups