Stazione di dosaggio JW-300-LDS CDS

Panoramica
Il modulo di distribuzione liquidi (CDM) JW-300-LDS CDS è focalizzato su valvole a diaframma Ultra-High Purity (UHP) progettate per gestire incisioni aggressive e slurry abrasive nella produzione di semiconduttori. La corretta selezione, monitoraggio e manutenzione delle valvole è fondamentale per prevenire contaminazioni, rilascio di particelle e fermate non pianificate.

Manutenzione e raccomandazioni di progetto
Scegliere valvole a diaframma UHP con tenuta metallo‑su‑metallo che isolino il fluido di processo dall'attuatore per eliminare volumi morti. Implementare il monitoraggio predittivo tramite il PLC del CDM: tracciare il numero di cicli delle valvole e i differenziali di pressione sul collettore per individuare il degrado della membrana prima di una perdita. Definire protocolli di risciacquo con acqua deionizzata per evitare la cristallizzazione chimica sulle sedi e pianificare la sostituzione dei componenti ad alto consumo durante le finestre di fermo programmate per mantenere livelli di purezza in parti per trilione (ppt) e prolungare la vita utile del modulo.

Dati tecnici
Model : JW-300-LDS CDS
Special gas cabinet size : W1900*D800*H2100
Control cabinet power supply : Control power supply: 220VAC, 50HZ, 500W, heating power supply: 220VAC, 50HZ, 1-6KW
Purge : PN2,1/4”MVCJ
High pressure holding : GN2.1/4” MVCJ
Vacuum : 1/2” MVCJ
VENT drain pipe : CDA driver, 1/4" SWG
Pneumatic air source : OD 150MM, silane 810m³/hr; others 204m³/hr
Cabinet ventilation : OD 150MM, silane 810m³/hr; others 204m³/hr
Standard equipment : Automatic switching, automatic purging, explosion-proof and anti-leaving cabinet, explosion-proof self-locking door, explosion-proof glass observation window, leakage alarm, remote cut-off, negative pressure alarm
Operation interface : 10" color touch screen

Opzionale

• Rilevatore di fiamma UV/IR
• Riscaldamento bombola
• Riscaldamento pannello
• Modulo di comunicazione Ethernet
• Pesa elettronica
• Interruttore di flusso eccessivo
• Interruttore rilevatore di fumo

Applicazioni

• Semiconduttore
• Fotovoltaico
• Energia solare
• Pannello a cristalli liquidi
• Fibra ottica
• Altri settori produttivi

Sostanze chimiche trattate

• HF - acido fluoridrico
• HCL - acido cloridrico
• H2O2 - perossido di idrogeno
• KOH - idrossido di potassio
• HNO3 - acido nitrico
• NH4OH - idrossido di ammonio
• H2SO4 - acido solforico

Funzioni

• Filtrazione di prodotti chimici liquidi
• Prelievo campioni di prodotti chimici liquidi
• Circolazione di prodotti chimici liquidi
• Distribuzione/erogazione di prodotti chimici liquidi

Osservazioni sulla costruzione e sulle prestazioni
I percorsi a contatto con il fluido utilizzano acciaio inossidabile 316L elettrolucidato con finitura superficiale 5Ra per minimizzare il rilascio di particelle e garantire la compatibilità chimica. Le valvole a diaframma UHP proprietarie presentano tenute metallo‑su‑metallo e automazione controllata da PLC per gestione delle ricette e manutenzione predittiva. I protocolli di sicurezza a più livelli includono contenimento secondario, blanketing con azoto e rilevamento automatico delle perdite per proteggere il personale e il rendimento.

specifiche tecniche

• Model: JW-300-LDS CDS
• Dimensioni armadio: W1900 × D800 × H2100
• Alimentazione controllo: 220VAC, 50Hz, 500W; potenza riscaldamento: 220VAC, 50Hz, 1–6KW
• Gas di purge: PN2, 1/4" MVCJ
• Mantenimento alta pressione: GN2, 1/4" MVCJ
• Connessione vuoto: 1/2" MVCJ
• Tubo di scarico VENT: CDA driver, 1/4" SWG
• Capacità sorgente aria pneumatica: OD 150mm; silano 810 m³/hr; altri 204 m³/hr
• Capacità ventilazione armadio: OD 150mm; silano 810 m³/hr; altri 204 m³/hr
• Interfaccia operatore: touchscreen colore 10"
• Caratteristiche/ sicurezza standard: commutazione automatica, purge automatico, armadio antideflagrante, porta autobloccante antideflagrante, finestra di osservazione in vetro antideflagrante, allarme perdite, interruzione remota, allarme pressione negativa
• Materiali e finitura: acciaio inossidabile 316L elettrolucidato, finitura superficiale 5Ra
• Funzioni chiave: filtrazione, campionamento, circolazione, erogazione di prodotti chimici liquidi speciali