Stazione a sonda di resistività A4P-series

I mappatori di resistività per wafer della serie A4P utilizzano standard industriali collaudati per fornire misure rapide, accurate e affidabili della distribuzione della resistività del campione. Le sonde a quattro punti di MicroXact misurano la resistenza media di wafer di semiconduttori a strati facendo passare la corrente attraverso i punti esterni di una sonda a quattro punti e misurando la tensione attraverso i punti interni. Il valore della resistività, la proprietà del materiale che gli conferisce resistenza elettrica, può essere trovato moltiplicando la resistenza del foglio per lo spessore del film. Disponibile come sistema da 100 mm, 150 mm, 200 mm o 300 mm, la sonda a quattro punti A4P è progettata per essere esente da manutenzione e molto facile da usare. Per questo sistema sono disponibili numerose opzioni, tra cui test termici ad ampio raggio, mandrini personalizzati per materiali non standard e sonde a 4 punti personalizzate per quasi tutte le applicazioni. Software di automazione per la misura della resistività Il software di automazione A4P-200-PLUS consente di eseguire test semi-automatici o completamente automatizzati con il sistema di mappatura della resistività. L'interfaccia è stata progettata per essere semplice ma potente, consentendo agli utenti di impostare facilmente una procedura di test automatizzata per quasi tutti i tipi di struttura dei wafer. Il software basato su LabView è strutturato in modo logico e consente una facile integrazione delle apparecchiature di prova e di misura del cliente. Il software può essere installato su qualsiasi PC con sistema operativo Windows XP o superiore.