Stazione a sonda semiautomatica SPS-HS series

Sistemi semi-automatici ad alta velocità - Mandrino XY motorizzato, piano motorizzato in SPS-2600, movimento Z motorizzato del mandrino in SPS 2800 in configurazione standard. Il teta motorizzato è un'opzione. - Basato su servomotore, con encoder lineari. - Soluzione molto competitiva dal punto di vista dei costi, molto veloce e ad alta produttività - Altamente raccomandata per la produzione su media scala o per altre applicazioni in cui la produttività è importante Specifiche tecniche - Dimensioni del wafer Fino a 300 mm - Tipo di motore Servomotore - Corsa dello stadio XY Fino a 300mmx300mm - Risoluzione e ripetibilità dello stadio XY Motorizzato, risoluzione 0,15μm, ripetibilità +/-1,2μm - Velocità/accelerazione XY (max) Fino a 1000 mm/s, fino a 35 mm/s2 - Velocità Z 20 mm/s - Corsa del piano 12.7 mm o 25 mm - Regolazione del piano Doppio controllo grossolano e fine con ripetibilità superiore a 2,5µm - Planarità del piano <12,7μm su 200 mm - Rigidità del piano <50μm per 4,5 kg - Mandrino a vuoto Vuoto multizona - Planarità del mandrino +/-13μm - Tensione di rottura del mandrino Almeno 500V - Isolamento del mandrino Almeno 1GΩ - Regolazione del mandrino 360° grossolana, +/-6° fine - Microscopio Zoom stereo di alta qualità con distanza di lavoro fino a 200 mm e ingrandimento da 3,5X a 180X - Terminali passanti BNC, Triax o connettore a banana - Dimensioni del sistema 101 cm di larghezza x 91 cm di profondità x 88 cm di altezza