Stazione a sonda semiautomatica SPS-HP series

Sistemi semi-automatici di alta precisione - Mandrino XY motorizzato, movimento Z motorizzato del mandrino in configurazione standard. Il movimento teta motorizzato è un'opzione. - Motore passo-passo, encoder lineari. - Costo competitivo per le specifiche di posizionamento. - Ideale per i test di produzione e la caratterizzazione di bassi volumi. Specifiche tecniche - Dimensioni del wafer Fino a 300 mm - Tipo di motore Motore passo-passo - Corsa dello stadio XY Fino a 300mmx300mm - Risoluzione e ripetibilità dello stadio XY Motorizzato, risoluzione 0,15μm, ripetibilità +/-1,2μm - Velocità XY (max) 50 mm/s - Velocità Z (max) 10 mm/s - Corsa del piano 12.7 mm o 25 mm - Regolazione del piano Doppio controllo grossolano e fine con ripetibilità superiore a 1µm - Planarità del piano <12,7μm su 200 mm - Rigidità del piano <50μm per 4,5 kg - Mandrino a vuoto Vuoto multizona - Planarità del mandrino +/-13μm - Tensione di rottura del mandrino Almeno 500V - Isolamento del mandrino Almeno 1GΩ - Regolazione del mandrino 360° grossolana, +/-6° fine - Microscopio Zoom stereo di alta qualità con distanza di lavoro fino a 200 mm e ingrandimento da 3,5X a 180X - Terminali passanti BNC, Triax o connettore a banana - Dimensioni del sistema 101 cm di larghezza x 91 cm di profondità x 88 cm di altezza