Dimensioni: -
L: 530 mm L: 600 mm H: 550 mm
Peso: -
80 KG
Volume: -
18 litri
Camera di processo: -
alluminio, L: 250mm L: 290mm H:250mm
Uscita a microonde: -
2,45 GHz / 50 - 1200 Watt
Incluso: -
1 canale di gas (sistema di distribuzione del gas all'interno della camera di processo), fino a 3 canali disponibili
Supporto del substrato (opzionale): -
alluminio, possibilità di progettazione personalizzata
Connessione per il vuoto: -
DN 25 ISO-KF
Sfiato: -
elettrovalvola elettromagnetica
Sistema di pompaggio: -
15-35 m³/h
Porta della camera: -
a cerniera con porta di ispezione
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