Sistema di rivestimento e laminazione Q 240

Il sistema più grande della nostra serie Q. Perfetto per wafer multipli con dimensioni fino a 200 mm di diametro. Dimensioni: - L: 760 mm W: 775 mm H: 775 mm Peso: - 100 KG Volume: - 20 litri Camera di processo: - vetro al quarzo, Ø 240 mm, B: 450 mm Uscita microonde: - 2,45 GHz / 50 - 1200 Watt Incluso: - 1 canale di gas (sistema di distribuzione del gas all'interno della camera di processo), fino a 3 canali disponibili Supporto del substrato (opzionale): - alluminio, possibilità di progettazione personalizzata Connessione al vuoto: - DN 40 ISO-KF Sfiato: - elettrovalvola elettromagnetica Sistema di pompaggio: - fino a 40m³/h Porta della camera: - è possibile scegliere tra il tipo a cerniera con porta di visualizzazione e la porta a cassetto con aste di sostegno collegate Dimensione dei wafer: - fino a 200 mm, con un numero di 50 wafer