Ideale per substrati di medie dimensioni o lastre per PCB.
Dimensioni: -
L: 1050 mm L: 800 mm H: 2020 mm
Peso: -
95 KG
Volume: -
76/100 litri
Camera di processo: -
alluminio, L: 400mm L: 480mm H: 520mm
Uscita microonde: -
2,45 GHz / 50 - 1200 Watt
Incluso: -
1 canale di gas (sistema di distribuzione del gas all'interno della camera di processo), fino a 3 canali disponibili
Supporto del substrato (opzionale): -
alluminio, possibilità di progettazione personalizzata
Connessione per il vuoto: -
DN 63 ISO-KF
Sfiato: -
elettrovalvola elettromagnetica
Sistema di pompaggio: -
fino a 250m³/h (integrato)
Porta della camera: -
è possibile scegliere tra il tipo a cerniera con porta di ispezione, la porta a cassetto o la porta universale
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