Sistema di rivestimento e laminazione Q 240S

Un sistema con il diametro del nostro Q240 ma con una profondità della camera ridotta per risparmiare spazio. Dimensioni: - L: 620 mm L: 550 mm H: 500 mm Peso: - 75 KG Volume: - 9 litri Camera di processo: - Quarzglas, Ø 240 mm, B: 244 mm Uscita microonde: - 2,45 GHz / 50 - 1200 Watt Incluso: - 1 canale di gas (sistema di distribuzione del gas all'interno della camera di processo), fino a 3 canali disponibili Supporto del substrato (opzionale): - alluminio, possibilità di progettazione personalizzata Connessione al vuoto: - DN 40 ISO-KF Sfiato: - elettrovalvola elettromagnetica Sistema di pompaggio: - fino a 25m³/h Porta della camera: - è possibile scegliere tra il tipo a cerniera con porta di visualizzazione e la porta a cassetto con aste di supporto collegate Dimensione dei wafer: - fino a 150 mm, per un numero di 25 wafer