Versione leggermente più grande dell'AL18 con maggiori opzioni e capacità di carico.
Dimensioni: -
L: 680 mm L: 630 mm H: 650 mm
Peso: -
110 KG
Volume: -
36 litri
Camera di processo: -
alluminio, L: 350 mm L: 320 mm H: 320 mm
Uscita microonde: -
2,45 GHz / 50 - 1200 Watt
Incluso: -
1 canale di gas (sistema di distribuzione del gas all'interno della camera di processo), fino a 3 canali disponibili
Supporto del substrato (opzionale): -
alluminio, possibilità di progettazione personalizzata
Connessione per il vuoto: -
DN 25 ISO-KF
Sfiato: -
elettrovalvola elettromagnetica
Sistema di pompaggio: -
15-65 m³/h
Porta della camera: -
a cerniera con porta di ispezione
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