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Sistema di rivestimento e laminazione series Q
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Descrizione
La Q sta per camere di vetro al quarzo.
Le apparecchiature al plasma della serie Q sono utilizzate soprattutto nella tecnologia dei semiconduttori e nel settore dell'analisi e della tecnologia medica.
Esempi di applicazione: Pulizia e incenerimento di campioni organici e vernici nella micro-meccanica e per i wafer di silicio nell'industria dei semiconduttori.
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