Sistema di misurazione di vibrazioni MSA-600

ottico

Misurazione della risposta dinamica e della topografia di MEMS e microstrutture La topografia della superficie e l'analisi e la visualizzazione del movimento dinamico sono fondamentali per testare e sviluppare microstrutture come i dispositivi MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). Sono indispensabili per convalidare i calcoli FE, determinare gli effetti di cross-talk e misurare la deformazione superficiale. L'analizzatore di microsistemi MSA-600 è la workstation di misura ottica all-in-one per la caratterizzazione della topografia superficiale e dei movimenti in piano e fuori piano. Le versioni MSA-600-M/V coprono gamme di frequenza fino a 25 MHz, ideali per MEMS, microfoni MEMS e altri microsistemi. Le versioni MSA-600-X/U coprono la gamma di frequenze alte e altissime fino a 2,5 GHz, perfette per la valutazione di risonatori MEMS HF, dispositivi microacustici come SAW, BAW e altro. PREMIERE: MSA-600-S è la workstation di misura ottica specializzata per l'analisi delle vibrazioni in tempo reale a 6 GHz e l'analisi della topografia superficiale. Ideale per testare MEMS a GHz come FBAR (risonatori acustici a film), filtri BAW (onde acustiche di massa) e dispositivi SAW (onde acustiche di superficie).