Sistema di misurazione di vibrazioni MSA-100-3D

3D

misura delle vibrazioni 3D per MEMS e microsistemi Le vibrazioni degli oggetti reali sono solitamente tridimensionali. Sebbene sia possibile indicare le direzioni preferenziali, le tolleranze di produzione e altre influenze portano a componenti di movimento anche in altre direzioni spaziali. Con l'analizzatore di microsistemi MSA-100-3D è possibile analizzare il comportamento dinamico del campione in modo integrato, su un'ampia larghezza di banda e in tempo reale. Le componenti di vibrazione in tutte e tre le direzioni spaziali vengono registrate simultaneamente ad alta risoluzione e analizzate come un record di dati integrato. Si ottiene la risoluzione di ampiezza sub-picometrica tipica dei vibrometri laser, indipendentemente dalla direzione di vibrazione. Misura delle vibrazioni in tempo reale con un'elevata larghezza di banda fino a 25 MHz Risoluzione dell'ampiezza sub-picometrica per i movimenti fuori piano e in piano Misure sia a punto singolo che a campo pieno Il piccolo spot laser di meno di 4 μm consente la massima risoluzione laterale Grandi distanze di separazione di 38 mm Compatibile con le comuni stazioni di misura MEMS