Essiccatore di risciacquo COMPASS SRD

a polverizzazionea ugello

Gli essiccatori a risciacquo centrifugo RENA COMPASS sono essiccatori per wafer di qualità superiore che risciacquano i residui lasciati dalle fasi di processo precedenti e poi asciugano i wafer. Queste piattaforme offrono le caratteristiche più avanzate presenti negli attuali SRD. La famiglia di SRD RENA COMPASS è stata progettata per ridurre i costi operativi, garantendo al tempo stesso pulizia, secchezza e caratteristiche particellari eccezionali. Queste piattaforme utilizzano un risciacquo con acqua DI seguito da un'asciugatura con N2 per cassette ad alto e basso profilo. Il riscaldamento senza contatto di COMPASS SRD consente di ottenere un N2 più pulito. Caratteristiche e vantaggi Basso costo operativo Significativo risparmio di N2 Prestazioni a basso contenuto di particelle collettore di spruzzatura dell'acqua DI a 10 ugelli Controllo superiore di vibrazioni e statica Controllo avanzato del processo con IDX Flexware Set point programmabile per il riscaldatore di N2 e monitoraggio della temperatura Controllo della resistività, dell'antistat e del riscaldatore del mantello Cassetta ad alto e basso profilo