Essiccatore di pulizia Genesis

a polverizzazioneper batchdi risciacquo

L'essiccatore RENA Genesis Marangoni combina il processo di essiccazione con la pulizia e il risciacquo, fornendo un processo in un'unica fase. Genesis è una tecnologia brevettata che garantisce un'eccezionale pulizia dei wafer e la rimozione dell'acqua. Questi essiccatori possono essere utilizzati sia come piattaforme indipendenti che integrati in banchi a immersione per lotti. L'intero processo è monitorato e controllato dall'esclusivo software di controllo di processo IDX Flexware di RENA. L'essiccatore Marangoni di RENA offre prestazioni superiori, migliore resa e ridotta presenza di particelle. Caratteristiche e vantaggi Economicamente vantaggioso Robusto, efficiente e pulito Gestione manuale o automatizzata dei wafer Dimensioni dei wafer 50 - 200 mm Cassette in teflon Asciuga superfici idrofobe e idrofile Non danneggia il fotoresistente Basso utilizzo di IPA (< 20 ml per ciclo di asciugatura) Prestazioni superiori delle particelle Tempo di ciclo tipico 7-20 minuti Opzione di filtrazione dell'acqua DI integrata Iniezione chimica opzionale Ricircolo IPA opzionale per prestazioni particellari più elevate